Cikkszám: JXA-8230
gyártó: JEOL
Tartozékok: spektrométer (*3), energiaspektrométer (*1)
Elemek elemzése: B-U
Felbontás: 3nm

Az elektronszonda egy olyan eszköz, amely mikrozónai összetételek elemzésére használja az elektronszag hatása után előállított jellemző röntgensugárokat, amelyeket a vékony lapokban lévő ásványi mikrozónák kémiai összetételének elemzésére lehet használni. A kevésbé könnyű elemek, mint például a H, He, Li és Be, az U elem utáni elemek is minőségi és kvantitatív elemzésre alkalmasak. Pont-, vonal- és arcszkennelési elemzések elvégezhetők.

Példa: Az akkumulátorpor EPMA felületi eloszlásának mérési eredményei