• Nagy pontosság ±1,0% beállítási pont
  A tömegáramlásszabályozó linearitását a polynomiális közelítési görbék kompenzálják, és magas pontosságot biztosítanak az áramlásszabályozási tartományon belül. A tényleges gázok pontosságának növelése érdekében a különböző folyamati gázok kalibrálási adatait a HORIBA STEC szabványos gázmerő rendszere méri.
• Nagy sebességű válasz
  A változó PID rendszerrel egy másodperces válasz bármely két beállítási pont között. A változó PID folyamatosan változik az áramlási pont beállításaitól függően. Optimalizálja a PID-koeficientet teljes áramlás és gázováltozás esetén.
• Többgáz/több méretű megoldások
  A konfigurációs szoftver gyorsan és könnyen módosíthatja a specifikációkat. Egy fontos jellemző az, hogy a változtatások nem szükségesek a tömegáramlási vezérlő eltávolítása nélkül a gázvezetőpultról vagy a csővezetékről. Csökkenti a szükséges tartalék tömegáramlási vezérlők számát, és időt és költséget takarít meg.

A SEC-Z500X tömegáramlásvezérlő különböző alkalmazásokhoz és félvezetőgyártáshoz alkalmas.