Számos ultratiszta gáz alkalmazásban, például a félvezetőiparban, a gázban lévő maradék nedvesség elengedhetetlen a folyamat megfelelő működéséhez. A nedvesség folyamatos nyomon követése mindig is nehéz volt, és összetett nedvességelemzőket vagy drága elemzési technikákat igényelt. Azonban a MISSELL-mérők jelenleg egyszerű, gazdaságos és meglehetősen hatékony megoldást kínálnak a piacon a harmatpont online mérésére, ami meglepően alacsony -120 °C-ig (kevesebb mint 1 ppb).V-es). A Pura Transmitter az impedancia harmatpont-érzékelők gyártásában és ellenőrzésében szerzett MISSELL műszerek több éves szakmai tapasztalatán alapul, és a szabványos ipari anyagok és gyártási folyamatok kombinálásával létrehozta az első alacsony árú adót a félvezetőgyártási iparban és az ultratiszta gáz alkalmazásaiban. Kiemeltetők Alsó mérési határ -120°C harmatpont (1 ppb)V-es) Stabilis mérés, jó ismétlődés Nagyon integrált mintavételi berendezés Analóg és digitális kimenetek Egyszerű telepítés VCR folyamati interfész Kompakt kialakítás Kijelző/riasztó egység választható
Műszaki mutatók
Érzékelők Érzékelőtípus Misel Kerámia páratartalom érzékelő Mérték -120 ~ -40°C harmatpont (-100 ~ -40°C) Pontosság ± 1 ° C -40 ~ -60 ° C; ± 2 ° C -61 ~ -100 ° C; ±4°C -101 ~ -120°C (becsült) Felbontás 0,1 ° C -40 ~ -79,9 ° C; 1 ° C -80 ~ -100 ° C; 1 ~ 3 ° C -100 ~ -120 ° C Nyomás Minimális 10-9 torr; Legfeljebb 24 MPa Gázáramlás 1 ~ 5 Nl / perc elektromos áramellátás Általában 24 V DC, min. 10 V ~ max. 28 V, max. áram 25 mA Kimenet 4-20 mA kimenet, megfelelő tartomány beállítható speciális szoftverrel, 1-80°C beállítási tartomány (szabványos) Maximális terhelés = 100 Ω + 50 Ω x (V tápegység -8) A kimeneti hiba állapota A szabványos kimeneti hibaüzenet a következő: 23 mA = érzékelőhiba; 20 mA = felső határ túllépése; 4 mA = túl az alsó határ Mechanikai tulajdonságok Érzékelőburkolat Rozsdamentes acél, 0,1-0,2 Ra µm galvanizált belső csiszolás A légúti csatlakozó port Premium vagy OEM típus: ¼' m VCR csatlakozó Pura Sensor típus: ½' m VCR csatlakozó Telepítési beállítások Prémium vagy OEM típus: 120,00 mm hosszú, a légúti port végső tömítése. Nincs szükség a csővezeték ürességére 2 M4 x 0,7, 7 mm mélységű rögzítési lyuk az alapon, 20 x 20 mm méretű függőleges távolság Pura Sensor típus: a felhasználó által biztosított ½' VCR portokban használható Méret Prémium vagy OEM típus: 120 x 35 x 150 mm Pura érzékelő 型: 132 x 35 mm Súly Premium vagy OEM típus: 450 g Pura érzékelő 型: 180 g Csomagolás Pura: Kétrétegű csomagolás, inert gáztöltő tömítés Pura OEM vagy Pura Sensor típus: Egyrétegű csomagolás Minden opcionális kiegészítő: független csomagolás Az érzékelőtípus saját védőburkolattal rendelkezik az érzékelőchip végén szállításhoz és üzemeltetéshez