Atonarp folyamat vezérlő tömegspektrométer Aston ™Globális szállító

702 szoba, 7. emelet, 36. épület, 1888. szám, Xinjinqiao utca, Pudong új kerület, Sanghaj, 201206

Atonarp folyamat vezérlő tömegspektrométer Aston ™ Műszaki specifikációk:

Általános eszköz valós idejű folyamat vezérléséhez, korrózióálló gázok, kondenzációellenes
In situ molekuláris elemzési platform félvezetőgyártáshoz, amely valós idejű, működésre képes adatokat biztosít
Plazma ionizálási forrás, vezeték nélküli, tartósabb
Teljes mértékben integrálható a nagy mennyiségű gyártási eszközökkel
Aston ™ Folyamatspektrometriai elemzőErős platformként sokféle hagyományos szerszám helyettesíthető, amely példa nélküli szintű ellenőrzést nyújt, beleértve a fényképezést, az elektromos és vezető frászást és a lerakodást, a kamra tisztítását, a kamra egyeztetését és feloldását.

Aston ™ Folyamatspektrometriai elemzőMűszaki paraméterek

Típus	Impact-300	Impact-300DP	Plasma-200	Plasma-200DP	Plasma-300	Plasma-300DP
Modellszám	AST3007	AST3006	AST3005	AST3004	AST3003	AST3002
Minőségi elválasztás	Négyes szintű rúd
Vákuum rendszer	Molekuláris szivattyú	Molekuláris szivattyú Membránszivattyúk	Molekuláris szivattyú	Molekuláris szivattyú Membránszivattyúk	Molekuláris szivattyú	Molekuláris szivattyú Membránszivattyúk
Érzékelő	FC /SEM
Minőségi tartomány	2-285		2-220		2-285
Felbontás	0.8±0.2
Vizsgálási korlátok	0.1 PPM
Működési hőmérséklet	15-35“℃
teljesítmény	350 W
Súly	15 kg
Méret	299 x 218 x 331 LxWxH(mm)		400 x 240 x 325 LxWxH(mm)

Atonarp Aston™ Alkalmazás: A félvezető folyamatok ellenőrzése és optimalizálása terén jelentős fejlesztések, amelyek növelik a félvezető gyártási folyamatok termelését, teljesítményét és hatékonyságát
Aston ™ Egy teljesen új kialakítású, szilárd és tartós kompakt online tömegesspektrométer, amely a gázok felügyeletére és vezérlésére alkalmas a félvezetőgyártásban és az ipari folyamatvezetési alkalmazásokban, a nagy mennyiségi pontosság és a valós idejű teljesítmény kombinálása a gyártás szilárdságával és megbízhatóságával, például a félvezető száraz szivattyú kibocsátásgázok észlelési elemzése, az online felügyelet és a diagnosztika.
CVD / ALD: Oxid-nitrid átmenet és összetevőelemzés
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching: nyomkövető molekulák azonosítása
Aston™ 半导体在线质谱仪应用

Ha további információra van szükségeAtonarp Aston ™ Online tömegspektrométerTovábbi információkért vagy vitákról kérjük, lásd az alábbi elérhetőségi adatokat:
Sanghaji Betong: Miss Ye Tajvani Betong: Miss Wang
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 (WeChat azonos szám) M: +886-939-653-958

Jelenleg néhány márka felvételi együttműködő ügynökök, az érdeklődők szívesen vegye fel a kapcsolatot Sanghaj Betong Ye Miss 1391-883-7267
Minden szerzői jog fenntartva, másolás!