A 12 hüvelykes Olympus wafer ellenőrző rendszer főbb jellemzői:
Erős, megbízható és biztonságos szállítás
A 12 hüvelykes Olympus wafer ellenőrző rendszer az előző generációs modellek szilárdságát, megbízhatóságát és biztonságát folytatja, és 300 mm-es wafereket, valamint a vékony lapokat és a Warped wafereket biztonságosan szállítja.
• Ember-gépmérnöki tervezés, könnyű kezelés
A 12 hüvelykes Olympus wafer ellenőrző rendszer szabadon beállítható ellenőrzési mód, a tervezés figyelembe veszi a működési hátsó műszaki, különös figyelmet fordítva a berendezés egyszerűségére. FOUP (Load Port) és FOSB (Load Port) típus.
A 12 hüvelykes Olympus wafer ellenőrző rendszer optimalizálja a makro megfigyelési pozíciót és a műveleti egységek központi elrendezését, javítva a berendezés működőképességét.
Automatikus 300 mm-es lapka ellenőrző rendszer AL120-12 Műszaki specifikációk
Modellszám |
AL120-LMB12-LP |
AL120-LMB12-F |
Wafer méret |
300 mm (SEMI M1,15 t = 775 μm) opcionális: 200 mm |
|
Dobozok száma |
Egyszerű doboz (kompatibilis betöltés és eltávolítás) |
|
A karton magasságának beállítása |
900 mm |
|
Töltési port |
Igen. |
Nincs |
Szállítási sorrend |
Felületi makró, belső makró, mikroszkópi vizsgálat |
|
Ellenőrizési mód |
Minden ellenőrzés, mintavétel. |
|
Wafer kalibrálás |
érintésmentes központi gyűrű |
|
Wafer kezelési mód |
Vákuumszívó mechanikai kezelés |
|
Mikroszkóp alkalmazása |
Félvezető ellenőrző mikroszkóp MX61L |
|
Alkalmazási környezet |
AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz , Vákuum - 67 ~ 80 Kpa |
|
Szállítási állomás |
XY kézi felszívó hordozóasztal, XY méretű/finomító és 360 fokos forgó mechanizmussal |
|
Súly (kivéve a mikroszkópot) |
körülbelül 360 kg |
körülbelül 270 kg |
